Le silicium de qualité optique est généralement caractérisé par une résistivité de 10 à 40 Ohm-cm, supérieure à celle requise pour la plupart des applications semi-conductrices. Le matériau de silicium standard est généralement de qualité Czochralski (Cz), à moins d'indication contraire. Il présente une bande d'absorption à 9 μm, ce qui n'est pas crucial si les fenêtres sont utilisées dans la plage thermique de 3 à 5 μm. Si nécessaire, du silicium de qualité Zone Flottante (FZ) peut être fourni, excluant cette absorption. Pour des applications spéciales, notamment pour les applications THz, un matériau à très haute résistivité (>1000 Ohm*cm) est disponible.
Les fenêtres en silicium (Si) de qualité optique sont appréciées pour leur faible coût et leur faible densité dans la plage spectrale de 1.2 à 7 µm.
Paramètre | Spécification standard |
Matériau | Silicium de qualité optique (monocristallin ou polycristallin) |
Plage de dimension | 3 ~ 300mm |
Tolérance dimensionnelle | +/-0.01 ~ +/-0.1mm |
Tolérance d'épaisseur | +/-0.01 ~ +/-0.1mm |
Qualité de surface | 10-5 ~ 80-50 |
Planéité | 1 lambda par 25mm |
Ouverture claire | >90% |
Parallélisme | <3 minutes d'arc |
Chanfrein | C 0.3mm@45 degrés |
Revêtement | AR, DLC etc. |
*Remarque : Personnalisation disponible |